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光學膜厚儀的應用和原理

2020-04-09 [3982]

光學膜厚儀是一種非接觸式測量儀器,一般會運用在生產(chǎn)廠商生產(chǎn)產(chǎn)品的過程,由于誤差經(jīng)常會導致產(chǎn)品全部報廢,這時候就需要運用光學膜厚儀來介入到生產(chǎn)環(huán)境,避免這種情況的發(fā)生。

典型應用領域

半導體制造業(yè),光刻膠、氧化物、硅或其他半導體膜層的厚度測量。

生物醫(yī)學原件:聚合物/聚對二甲苯;生物膜/球囊壁厚度;植入藥物涂層。

微電子:光刻膠;硅膜;氮化鋁/氧化鋅薄膜濾鏡                       

液晶顯示器:盒厚;聚酰亞胺;導電透明膜

由于是光學測量,在測量時候無須擔心破壞樣品,讓用戶簡單快速地測量薄膜的厚度和光學常數(shù),通過對待測膜層的上下界面間反射光譜的分析,幾秒鐘內(nèi)就可測量結(jié)果。

優(yōu)尼康科技有限公司提供的光學膜厚儀,是一款桌面型的產(chǎn)品,操作簡單,適用領域廣闊,遠程的在線技術支持,讓膜厚測量更輕松。

系統(tǒng)特點:

嵌入式在線診斷方式;

免費離線分析軟件;

精細的歷史數(shù)據(jù)功能,幫助用戶有效地存儲,重現(xiàn)與繪制測試結(jié)果

優(yōu)尼康主要為半導體、新能源企業(yè)和高校及研發(fā)中心提供各類精密進口制程及測量設備。提供的一對一*,技術支持,備件管理和咨詢服務。

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